等離子清洗機清洗的原理主要是與材料表面發生反應，這種反應分為兩種：一種是粒子的化學作用，主要是自由基活性粒子;另一種是粒子的物理作用，主要是正離子和電子。
 

　　等離子體被稱為“物質的第四態”。我們通常認知和接觸的物質狀態有三種：氣態、液態和固態，同一種物質所含能量不同時，會在三種狀態之間相互轉換，zui低能量狀態是固態，固態吸收能量轉化成液態，液態吸收能量轉化成氣態，氣態是三個狀態中能量最高的。氣態物質吸收更多的能量，就會產生物質的第四態，也就是等離子體。等離子體呈電中性，由電子、離子、光子和中性粒子組成，其中電子和正離子的數量基本相等，但等離子體并是穩定的物質狀態，當使其電離的能量消失，各種粒子會重新結合，形成原來的氣態分子。
 

　　導致等離子清洗機變色原因及解決辦法如下：
 

　　被清洗件表面變色的主要原因有兩點，一是因射頻頻率、功率選擇不當，導致零件整體溫度過高，造成材料變性或整體氧化;二是因零件形狀復雜，等離子體在零件局部形成了熱點，導致局部溫度過高，造成局部變性或氧化。
 

　　總的來說變色是由于產品表面被氧化導致，解決辦法如下：
 

　　如果產品易被氧化，一般可以充入氬氣和氫氣的混合氣體，把氫氣比例控制在一定范圍內，兼顧安全性和效率的平衡，易被氧化的產品，應該避免清洗腔室有氧氣的存在，可以通入氫氣將氧氣還原掉。此外功率過大溫度過高導致的產品變色，可以適當調整降低功率，將其控制在一個合適的范圍內。